應(yīng)用介紹

1.什么是臭氧和臭氧的危害。

臭氧是大氣中的微量氣體，由三個(gè)氧原子組成。主要存在于距地面10—50千米的平流層，構(gòu)成臭氧層，能阻擋紫外線，需加以保護(hù)。少部分臭氧分布在近地面，也有一定防護(hù)作用。

當(dāng)臭氧達(dá)到一定濃度時(shí)，可使人呼吸加速、胸悶，如果濃度進(jìn)一步提高，可引起脈搏加速、疲倦、頭痛塵散，在這樣的環(huán)境中停留1小時(shí)，會(huì)發(fā)生肺氣腫，甚至死亡。長(zhǎng)期待在臭氧污染嚴(yán)重的環(huán)境中，對(duì)皮膚健康也可能有損傷，還可能增加致癌危險(xiǎn)。臭氧污染還會(huì)對(duì)環(huán)境造成損害。比如，會(huì)導(dǎo)致植物葉片壞死、脫落，危害生態(tài)環(huán)境，造成農(nóng)作物減產(chǎn)等

2.臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

在過(guò)去的幾年中，臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越受到重視，特別是在品圓清洗過(guò)程。

在半導(dǎo)體行業(yè)，清潔度是一個(gè)的要求。即使是很小的污染物痕跡也會(huì)導(dǎo)致晶圓表面區(qū)域結(jié)構(gòu)的改變自80年代未以來(lái)，在芯片生產(chǎn)中采用臭氧的清潔工藝已經(jīng)被使用。隨著修改和新方法的開發(fā)，人們的興趣繼續(xù)增長(zhǎng)。每個(gè)晶圓處理步驟都是潛在的污染源，每個(gè)步驟都有其特定類型的污染物。這意味著一個(gè)有效的清洗過(guò)程包括幾個(gè)清洗步驟，以去除晶體上的所有污染物。同時(shí)“清潔"的行業(yè)要求擴(kuò)展到設(shè)備(臭氧發(fā)生器，接觸到的設(shè)備)，這意味著不會(huì)產(chǎn)生顆粒，沒有金屬，離子或有機(jī)污染物。所以在半導(dǎo)體行業(yè)中會(huì)或多或少的有臭氧氣體的揮發(fā)到空氣中。

3.怎么對(duì)進(jìn)行臭氧氣體監(jiān)測(cè)

在此，深圳市富安達(dá)智能科技推薦一款臭氧傳感器(O3/M-5)，該傳感器具有響應(yīng)速度快、抗干擾、分辨率高、線性度好、靈敏度高等特點(diǎn)。

深圳市富安達(dá)智能科技有限公司（富安達(dá)智能，ASA）創(chuàng)立于2003年，已成為中國(guó)傳感器及整體解決方案的企業(yè)，是專業(yè)從事傳感器應(yīng)用硬件、軟件及相關(guān)系統(tǒng)的應(yīng)用設(shè)計(jì)、服務(wù)和銷售服務(wù)的專業(yè)系統(tǒng)配套方案提供商，在國(guó)內(nèi)與多所高校和多個(gè)研究院所建立了長(zhǎng)期緊密的技術(shù)合作關(guān)系,并與國(guó)外多家公司建立了長(zhǎng)遠(yuǎn)的戰(zhàn)略伙伴關(guān)系。

“誠(chéng)信、共創(chuàng)、共享、共贏"的企業(yè)文化指引我們以專業(yè)技術(shù)和完善服務(wù)誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)，為客戶提供的系統(tǒng)解決方案，共創(chuàng)雙贏！