高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱 產(chǎn)品適用于適用于BCB、PI、PBO膠固化，半導(dǎo)體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預(yù)烘/堅(jiān)膜、CPI固化潔凈無(wú)氧等要求，在生物、醫(yī)藥、LCD、LED、光學(xué)鍍膜、電子元器件等行業(yè)內(nèi)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求，產(chǎn)品也可接受非標(biāo)定制。

高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱

型號(hào)：GM-60D

工作室尺寸：W600*H600*D600

外形尺寸：W1190* H1730*D1100  

功率 9KW

含氧量<=20PPM

溫度范圍: +60~+450℃ ;

溫度均勻度:± 2.5℃ at2oo℃ ; ± 5℃ at35o°C;(空載)

升溫速度:常溫~400℃ ,升溫速率>6°C/min  PLC一體可設(shè)定

溫控精度:± 1℃ ;

烘箱擱板為活動(dòng)形式。

在60- 120°C 之間連續(xù)烘烤80-1000 小時(shí);

運(yùn)行噪音:≤ 65db;

以上指標(biāo)均在常壓、空載條件情況下,距箱體內(nèi)壁1/6 空間內(nèi)測(cè)試;

高溫PI烤箱   PBO膠固化烘箱產(chǎn)品特點(diǎn)：

結(jié)構(gòu)方式

整體結(jié)構(gòu)采用單門立式結(jié)構(gòu)，控制柜位于箱體上方，外殼采用304鏡面或者304不銹鋼拉絲，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內(nèi)部光亮整潔，自身潔凈不產(chǎn)塵。

1.外壁材料：1.5mm厚度SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

2.內(nèi)壁材料：2.0mm厚度SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料：100mm厚度120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結(jié)構(gòu)強(qiáng)度：箱底板承重能力：≤80Kg（均勻負(fù)載）

1．單開(kāi)門結(jié)構(gòu)，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條，拉桿式安全防爆拉手。

2. 門框安裝水冷循環(huán)，降低門封圈溫度。

3．配置電磁鎖，防止意外開(kāi)啟箱門。

加熱控制器：不銹鋼加熱管（鎳鉻合金電熱絲，改性氧化鎂填充，無(wú)縫不銹鋼管覆套）。加熱器控制方式：無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬，SSR（固態(tài)繼電器）

溫度控制器：采用PLC+威綸通10英寸觸摸屏控制系統(tǒng)，多段可程式PLC一體控制，恒溫，升溫等多段設(shè)定控制。

氧含量控制器：氧分析儀精準(zhǔn)控制，外接99.999%純度氮?dú)猓鹾窟_(dá)到＜ 20PPM 以下。

水冷系統(tǒng)：采用水冷控制系統(tǒng)降溫門縫圈，常水溫在20-25℃。

降溫系統(tǒng)：采用降溫冷卻風(fēng)機(jī)，使用箱體降溫循環(huán)冷卻。

氣體系統(tǒng)：氮?dú)饬髁坑?jì),入氣口8mm接口，出氣口100mm,自動(dòng)啟閉風(fēng)閥。

排風(fēng)系統(tǒng)：不銹鋼排風(fēng)管，帶自動(dòng)風(fēng)閥，有機(jī)排氣口，冷卻排風(fēng)口。

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