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四探針電阻率測(cè)試工作原理工作原理及組成部分
閱讀：414發(fā)布時(shí)間：2025-11-19
四探針電阻率測(cè)試工作原理工作原理及組成部分
四探針測(cè)試儀的測(cè)試?yán)碚撘呀?jīng)相當(dāng)成熟，依據(jù)的理論是范德堡原理，采用的是直流四探針測(cè)試法，如圖1所示，是用針距為1mm的四根探針同時(shí)壓在樣品的表面上，利用恒流源給外面的1，4探針通過電流，再從2，3探針上測(cè)量出電位差，經(jīng)過相關(guān)運(yùn)算得到材料的電阻率.當(dāng)四根探針排成一直線時(shí)，并施加一定壓力在半導(dǎo)體上時(shí)，則半導(dǎo)體的材料電阻率：ρ=CV/I （Ω·cm）
式中C為探針修正系數(shù)，cm，當(dāng)針間距確定后是一個(gè)常數(shù)，與樣品無關(guān)，V23為2，3針間的電壓，V；I為通過的電流，mA.
北京中航時(shí)代儀器設(shè)備有限公司主營產(chǎn)品：電壓擊穿試驗(yàn)儀-介電常數(shù)測(cè)試儀
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