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技術(shù)文章
在真空腔體內(nèi)表面鍍一層吸附材料真空度是否能更好
點(diǎn)擊次數(shù)：134 發(fā)布時(shí)間：2026-2-27
可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料，比如Ti，Ce等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵，就是通過鈦棒蒸發(fā)新鮮鈦到腔壁上來實(shí)現(xiàn)真空吸附。
現(xiàn)代同步輻射的直線管道則基本采用內(nèi)壁濺射NEG（Non-Evaporable Getter）材料來實(shí)現(xiàn)超高真空，同時(shí)減少電子打到腔壁引起二次電子，避免污染光學(xué)元件。NEG是目前比較流行的技術(shù)，主要是鋯鐵釩合金材料，不需要蒸發(fā)，通過真空中加熱激活，把表面吸附的氣體轉(zhuǎn)移到體內(nèi)（氫氣除外）來多次重復(fù)獲得新鮮的表面，實(shí)現(xiàn)真空吸附。
可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料，比如Ti，Ce等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵，就是通過鈦棒蒸發(fā)新鮮鈦到腔壁上來實(shí)現(xiàn)真空吸附。
現(xiàn)代同步輻射的直線管道則基本采用內(nèi)壁濺射NEG（Non-Evaporable Getter）材料來實(shí)現(xiàn)超高真空，同時(shí)減少電子打到腔壁引起二次電子，避免污染光學(xué)元件。NEG是目前比較流行的技術(shù)，主要是鋯鐵釩合金材料，不需要蒸發(fā)，通過真空中加熱激活，把表面吸附的氣體轉(zhuǎn)移到體內(nèi)（氫氣除外）來多次重復(fù)獲得新鮮的表面，實(shí)現(xiàn)真空吸附。
